Filterelement und Filtervorrichtung mit Austauschbaren Filtern

EP1436063 Art A1 14. Juli 2004

Anmelder: Entegris, Inc., Mykrolis Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1436063
Aktenzeichen
EP02778340
Anmeldetag
26. September 2002
Veröffentlichung
14. Juli 2004
Rechtsraum
EP
IPC
B01D29/21B01D29/58
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Entegris, Inc.
Mykrolis Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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