Ausbildung Selbstorganisierter Gestapelter Inseln für Selbstausgerichtete Kontakte von Niedrigdimensionalen Strukturen

EP1436831 Art A2 14. Juli 2004

Anmelder: PAUL SCHERRER INSTITUT 🇨🇭

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1436831
Aktenzeichen
EP02798708
Anmeldetag
5. September 2002
Veröffentlichung
14. Juli 2004
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/28H01L29/10
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
PAUL SCHERRER INSTITUT
Land
🇨🇭 Schweiz
🇨🇭 PAUL Scherrer Institut

Das Paul Scherrer Institut ist das größte Forschungszentrum für Natur- und Ingenieurwissenschaften der Schweiz mit Sitz in Villigen und Anbindung an Großforschungsanlagen wie Synchrotron und Freie-Elektronen-Laser. Die Patente betreffen vor allem Mess- und Prüftechnik sowie Halbleiterelemente, ergänzt um Medizintechnik, Verfahrenstechnik und Optik. Anmeldungen erfolgen kontinuierlich seit 2000.

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