Halbleiterherstellungs Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements
EP1437763
Art A1
14. Juli 2004
Anmelder: TOSHIBA MEMORY CORPORATION, Kabushiki Kaisha Toshiba 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1437763
- Aktenzeichen
- EP02779906
- Anmeldetag
- 8. Oktober 2002
- Veröffentlichung
- 14. Juli 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- TOSHIBA MEMORY CORPORATION
Kabushiki Kaisha Toshiba - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Toshiba
Japanischer Konzern, der Elektronik, Halbleiter, Energie- und Infrastrukturtechnik sowie Industrieanlagen entwickelt und herstellt.
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Fachgebiete
Vertreten von
-
Hoffmann Eitle
Hoffmann Eitle · München