Herstellungsverfahren für ein Halbleitersubstrat und Herstellungsverfahren für einen Feldeffekttransistor

EP1437765 Art B1 26. Dezember 2018

Anmelder: SUMCO CORPORATION, Sumitomo Mitsubishi Silicon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1437765
Aktenzeichen
EP02767854
Anmeldetag
23. August 2002
Veröffentlichung
26. Dezember 2018
Erteilung
26. Dezember 2018
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/205H01L21/336
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
SUMCO CORPORATION
Sumitomo Mitsubishi Silicon Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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