Plasmareinigungsverfahren

EP1437768 Art B1 18. August 2010

Anmelder: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, Canon Anelva Corporation, ULVAC, INC., Kanto Denka Kogyo Co., Ltd., Sanyo Electric Co., Ltd., Showa Denko K.K., Sony Corporation, DAIKIN INDUSTRIES, LTD., TOKYO ELECTRON LIMITED, Renesas Electronics Corporation, Hitachi Kokusai Electric Inc., Panasonic Corporation, Asahi Glass Company, Limited, NEC Electronics Corporation, Renesas Technology Corp., ANELVA CORPORATION, Kanto Denka Kogyo CO., LTD., Sanyo Electric Co., Ltd, SONY CORPORATION, MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD., Research Institute of Innovative Technology for the Earth 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1437768
Aktenzeichen
EP02758871
Anmeldetag
26. August 2002
Veröffentlichung
18. August 2010
Erteilung
18. August 2010
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/44B08B7/00H01L21/3065
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
Canon Anelva Corporation
ULVAC, INC.
Kanto Denka Kogyo Co., Ltd.
Sanyo Electric Co., Ltd.
Showa Denko K.K.
Sony Corporation
DAIKIN INDUSTRIES, LTD.
TOKYO ELECTRON LIMITED
Renesas Electronics Corporation
Hitachi Kokusai Electric Inc.
Panasonic Corporation
Asahi Glass Company, Limited
NEC Electronics Corporation
Renesas Technology Corp.
ANELVA CORPORATION
Kanto Denka Kogyo CO., LTD.
Sanyo Electric Co., Ltd
SONY CORPORATION
MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD.
Research Institute of Innovative Technology for the Earth
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology

Staatliches japanisches Forschungsinstitut (AIST), das breit angelegte angewandte Forschung in Bereichen wie Materialwissenschaft, Energie, Elektronik und Biotechnologie betreibt.

3.785 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Canon Anelva

Canon Anelva ist ein japanischer Hersteller von Vakuum- und Beschichtungsanlagen für die Halbleiterindustrie und Teil des Canon-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt um Schaltungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2024 ab.

421 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

1.137 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Sanyo Electric

Ehemaliger japanischer Elektronikkonzern mit Sitz in Osaka, seit 2011 Teil des Panasonic-Konzerns. Sanyo war aktiv in Unterhaltungselektronik, Halbleitern, Batterietechnik und Solartechnologie.

4.660 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Showa Denko

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, seit 2023 als Resonac Holdings firmierend. Aktiv in Petrochemie, Elektronikmaterialien, Batteriematerialien sowie Halbleiterchemikalien.

3.077 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Sony Group

Japanischer Technologie- und Unterhaltungskonzern mit Sitz in Tokio. Sony entwickelt Unterhaltungselektronik, Bildsensoren, Spielesysteme sowie Musik- und Filmangebote.

37.226 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Daikin Industries

Japanischer Hersteller von Klima- und Kältetechnik mit Sitz in Osaka. Daikin entwickelt Klimaanlagen, Wärmepumpen, Kältemittel und Fluorchemikalien für Gebäude- und Industrieanwendungen.

8.021 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.254 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Renesas Electronics

Japanischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Tokio, spezialisiert auf Mikrocontroller, analoge Bauelemente und Halbleiterlösungen unter anderem für die Automobil- und Industrieelektronik.

1.103 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Hitachi

Japanischer Konzern, der Technik für Energie, Bahn, Industrieanlagen, Informationstechnik und Haushaltsgeräte entwickelt und herstellt.

21.165 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Panasonic

Japanischer Konzern, der Haushaltsgeräte, Unterhaltungselektronik, Batterien sowie Komponenten und Lösungen für Industrie und Automobilbau entwickelt und herstellt.

55.053 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 AGC (Asahi Glass)

Japanischer Glas- und Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, früher als Asahi Glass Company firmierend. AGC entwickelt Flachglas, elektronische Materialien, Spezialchemikalien sowie Glasprodukte für Automobil-, Bau- und Elektronikindustrie.

7.331 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 NEC

Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Tokio, der IT- und Netzwerklösungen, Telekommunikationsausrüstung sowie Sicherheits- und Biometrietechnik anbietet.

27.380 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Renesas Technology

Renesas Technology war ein japanischer Halbleiterhersteller und Vorgängerunternehmen der heutigen Renesas Electronics. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Software, ergänzt um Datenspeicher- und Schaltungstechnik. Anmeldungen stammen aus den Jahren 2000 bis 2009.

421 Patente in unserer Datenbank

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