System und Verfahren zur Ermittlung und Kontrolle von Verunreinigung
EP1438118
Art A1
21. Juli 2004
Anmelder: Entegris, Inc., Mykrolis Corporation, Extraction Systems, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1438118
- Aktenzeichen
- EP02775958
- Anmeldetag
- 24. September 2002
- Veröffentlichung
- 21. Juli 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B01D53/00G01N30/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Entegris, Inc.
Mykrolis Corporation
Extraction Systems, Inc. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
899 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Greenwood, John David
Sevenoaks, Großbritannien
858
Patente gesamt
32
Fachgebiete
15
Anmelder-Länder
Schwerpunkte