Verfahren und Vorrichtung zur Sputterabscheidung von Epischichten mit Hoher Abscheidungsrate
EP1438443
Art A1
21. Juli 2004
Anmelder: E. I. du Pont de Nemours and Company, Chistyakov, Roman, E.I. DU PONT DE NEMOURS AND COMPANY 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1438443
- Aktenzeichen
- EP02799663
- Anmeldetag
- 27. September 2002
- Veröffentlichung
- 21. Juli 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/34
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- E. I. du Pont de Nemours and Company
Chistyakov, Roman
E.I. DU PONT DE NEMOURS AND COMPANY - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
DuPont
US-amerikanischer Chemie- und Materialkonzern mit Sitz in Wilmington, Delaware. DuPont entwickelt Spezialchemikalien, Polymere, Elektronikmaterialien sowie Werkstoffe für Industrie, Bauwesen, Elektronik und Gesundheitswesen.
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Fachgebiete
Kanzlei
Dehns Germany
München, Deutschland
Dehns Germany wurde 1979 als Münchner Büro der britischen Kanzlei Dehns eröffnet, eines der ältesten ausländischen Patentanwaltsbüros am Sitz des Europäischen Patentamts. 2021 vollständige Fusion mit Kudlek Grunert & Partner, betreut Mandanten aus USA, Japan, China und Südkorea.
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