Optisches Element, Verfahren zu Seiner Herstellung sowie Lithographische Vorrichtung zur Herstellung eines Halbleiter-Bauelements
EP1438725
Art A1
21. Juli 2004
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1438725
- Aktenzeichen
- EP02774683
- Anmeldetag
- 2. Oktober 2002
- Veröffentlichung
- 21. Juli 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G21K1/06G02B1/10
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Fachgebiete
Vertreten von
Werner, Anne-Estelle
Münster, Deutschland
19
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13
Fachgebiete
1
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Fuchs Mehler Weiss & Fritzsche
Fuchs Mehler Weiss & Fritzsche · Wiesbaden