Kippmechanismus und Kühlvorrichtung für Waferhalter
EP1438733
Art A2
21. Juli 2004
Anmelder: Axcelis Technologies Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1438733
- Aktenzeichen
- EP02776323
- Anmeldetag
- 25. Oktober 2002
- Veröffentlichung
- 21. Juli 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/317
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Axcelis Technologies Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Axcelis Technologies
Axcelis Technologies, Inc. ist ein US-amerikanischer Hersteller von Ionenimplantationsanlagen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Beverly, Massachusetts. Das Patentportfolio ist fast vollständig auf Halbleiter und elektrische Bauelemente konzentriert, ergänzt um Oberflächentechnik und Mess- und Prüftechnik. Das Unternehmen meldet durchgehend seit 2000 an.
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Fachgebiete
Vertreten von
Burke, Steven David
London, Großbritannien
453
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10
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