Verfahren und Vorrichtungen zur Strukturierung einer Oberfläche
EP1438738
Art A2
21. Juli 2004
Anmelder: Eidgenössische Technische Hochschule Zürich, Universität Zürich 🇨🇭
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1438738
- Aktenzeichen
- EP02768863
- Anmeldetag
- 18. September 2002
- Veröffentlichung
- 21. Juli 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Eidgenössische Technische Hochschule Zürich
Universität Zürich - Land
- 🇨🇭 Schweiz
🇨🇭
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