Sehr Schmalbandiges Gasentladungslasersystem mit Zwei Kammern und Hoher Wiederholungsrate

EP1438774 Art B1 24. Februar 2010

Anmelder: Cymer, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1438774
Aktenzeichen: EP02797839
Anmeldetag: 28. August 2002
Veröffentlichung: 24. Februar 2010
Erteilung: 24. Februar 2010
Rechtsraum: EP
IPC: H01S3/225H01S3/041H01S3/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Cymer, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

399 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von