Eingebettete Aetzstopschicht für Phasenschiebermasken, sowie ebene Phasenschiebermaske zur Reduzierung von Wellenleitereffekten und Topographie bedingten Effekten
EP1439418
Art A3
20. April 2005
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1439418
- Aktenzeichen
- EP04250093
- Anmeldetag
- 9. Januar 2004
- Veröffentlichung
- 20. April 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/00G03F1/14
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
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Leeming, John Gerard
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