Diffusionsplatte und Verfahren zu deren Herstellung

EP1439426 Art B1 7. November 2007

Anmelder: ASML Holding N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1439426
Aktenzeichen: EP04000512
Anmeldetag: 13. Januar 2004
Veröffentlichung: 7. November 2007
Erteilung: 7. November 2007
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G02B5/18G03F1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Holding N.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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