Ladungsteilchenstrahlgerät und Verfahren zu dessen Betrieb
EP1439566
Art B1
28. August 2019
Anmelder: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH, ICT, Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik Mbh 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1439566
- Aktenzeichen
- EP03001048
- Anmeldetag
- 17. Januar 2003
- Veröffentlichung
- 28. August 2019
- Erteilung
- 28. August 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/28H01J37/285H01J37/26H01J37/30
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH
ICT, Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik Mbh - Land
- 🇩🇪 Deutschland
Fachgebiete
Vertreten von
Zimmermann, Gerd Heinrich
München, Deutschland
751
Patente gesamt
31
Fachgebiete
7
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Zimmermann & Partner Patentanwälte mbB
Zimmermann & Partner Patentanwälte mbB · München