Ladungsteilchenstrahlgerät und Verfahren zu dessen Betrieb

EP1439566 Art B1 28. August 2019

Anmelder: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH, ICT, Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik Mbh 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1439566
Aktenzeichen
EP03001048
Anmeldetag
17. Januar 2003
Veröffentlichung
28. August 2019
Erteilung
28. August 2019
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/28H01J37/285H01J37/26H01J37/30
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH
ICT, Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik Mbh
Land
🇩🇪 Deutschland

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