Spannungsrelaxierte SiGe Pufferschichten für Anordnungen mit hoher Beweglichkeit und Herstellungsverfahren
EP1439570
Art A1
21. Juli 2004
Anmelder: IMEC, Nederlandse Philips Bedrijven B.V., INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM ( IMEC) 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1439570
- Aktenzeichen
- EP03447007
- Anmeldetag
- 14. Januar 2003
- Veröffentlichung
- 21. Juli 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/20H01L29/10
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- IMEC
Nederlandse Philips Bedrijven B.V.
INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM ( IMEC) - Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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Van Malderen, Joëlle
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