Herstellung feiner und dicht angeordneter Gräben

EP1439580 Art B1 12. Oktober 2005

Anmelder: STMicroelectronics S.A. 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1439580
Aktenzeichen
EP03300215
Anmeldetag
14. November 2003
Veröffentlichung
12. Oktober 2005
Erteilung
12. Oktober 2005
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/8242H01L21/334H01L21/762
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
STMicroelectronics S.A.
Land
🇫🇷 Frankreich
🇨🇭 STMicroelectronics International

Schweizer Gesellschaft des Halbleiterkonzerns STMicroelectronics, die Chips und Sensoren für Automobiltechnik, Industrie und Unterhaltungselektronik entwickelt.

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