Siliziumkarbideinkristall mit Hohem Spezifischen Widerstand und Verfahren zu Seiner Herstellung

EP1440461 Art B1 17. Juli 2019

Anmelder: Norstel AB, OKMETIC OYJ 🇸🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1440461
Aktenzeichen
EP02783900
Anmeldetag
28. Oktober 2002
Veröffentlichung
17. Juli 2019
Erteilung
17. Juli 2019
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/04C30B29/36C30B25/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Norstel AB
OKMETIC OYJ
Land
🇸🇪 Schweden

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