Gaszufuhr in eine Halbleiterbehandlungskammer
EP1441043
Art A3
6. Oktober 2004
Anmelder: THE BOC GROUP, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1441043
- Aktenzeichen
- EP03256470
- Anmeldetag
- 14. Oktober 2003
- Veröffentlichung
- 6. Oktober 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/44H01L21/00B08B7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- THE BOC GROUP, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇬🇧
The BOC Group
The BOC Group war ein britischer Industriegasehersteller und ist heute Teil des Linde-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Verfahrens- und Trenntechnik sowie Energie- und Wärmetechnik, ergänzt durch anorganische Chemie und Metallurgie. Anmeldungen erfolgten von 2000 bis 2012.
468 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Booth, Andrew Steven
West, Großbritannien
355
Patente gesamt
22
Fachgebiete
5
Anmelder-Länder
Schwerpunkte