Elektronenstrahl-Vorrichtung mit Elektronenenergie-Analysator, Einrichtung und Methode zur Steuerung von Linsen

EP1441382 Art B1 7. März 2012

Anmelder: JEOL LTD., JEOL Ltd., Jeol Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1441382
Aktenzeichen
EP04250358
Anmeldetag
23. Januar 2004
Veröffentlichung
7. März 2012
Erteilung
7. März 2012
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/26H01J37/24
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
JEOL LTD.
JEOL Ltd.
Jeol Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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