Optisches Element mit einer Optischen Achse
EP1442329
Art A2
4. August 2004
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1442329
- Aktenzeichen
- EP02782948
- Anmeldetag
- 18. Oktober 2002
- Veröffentlichung
- 4. August 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B7/00G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Vertreten von
Lorenz, Werner
Heidenheim, Deutschland
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