Verfahren zur Herstellung einer kristallinen Spannungsschicht auf einem Isolator, halbleitende Struktur dafür und so hergestellte Halbleiterstruktur

EP1443550 Art A1 4. August 2004

Anmelder: Soitec, S.O.I. Tec Silicon on Insulator Technologies S.A. 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1443550
Aktenzeichen
EP03290231
Anmeldetag
29. Januar 2003
Veröffentlichung
4. August 2004
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/762H01L21/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Soitec
S.O.I. Tec Silicon on Insulator Technologies S.A.
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Soitec

Französischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Bernin, spezialisiert auf Silicon-on-Insulator (SOI) Substrate. Patente decken Halbleitermaterialien und Waferbondtechnik ab.

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