Additiv Enthaltende Photoresistzusammensetzung für die Duv-Lithographie
EP1444551
Art B1
6. Juli 2005
Anmelder: AZ Electronic Materials USA Corp., Clariant Finance (BVI) Limited, Clariant International Ltd. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1444551
- Aktenzeichen
- EP02787514
- Anmeldetag
- 25. Oktober 2002
- Veröffentlichung
- 6. Juli 2005
- Erteilung
- 6. Juli 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/039
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- AZ Electronic Materials USA Corp.
Clariant Finance (BVI) Limited
Clariant International Ltd. - Land
- 🇺🇸 USA
🇨🇭
Clariant
Clariant ist ein Schweizer Spezialchemiekonzern mit Sitz in Muttenz, der Additive, Katalysatoren und Wirkstoffe für Industrie, Konsumgüter und Energieanwendungen herstellt.
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