Abstimmbares Mehrzonen-Gasinjektionssystem

EP1444717 Art B1 4. April 2007

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION, LAM Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1444717
Aktenzeichen: EP02801663
Anmeldetag: 9. Oktober 2002
Veröffentlichung: 4. April 2007
Erteilung: 4. April 2007
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: LAM RESEARCH CORPORATION
LAM Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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