Einrichtung zur Erzeugung eines Lokalen Elektron-Zyklotronmikrowellen-Niederdruckplasmas an einem Vorgebbaren Ort Innerhalb der Prozesskammer
EP1444874
Art B1
29. April 2015
Anmelder: Karlsruher Institut für Technologie, Forschungszentrum Karlsruhe GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1444874
- Aktenzeichen
- EP02785225
- Anmeldetag
- 17. Oktober 2002
- Veröffentlichung
- 29. April 2015
- Erteilung
- 29. April 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H05H1/46H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Karlsruher Institut für Technologie
Forschungszentrum Karlsruhe GmbH - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Karlsruher Institut für Technologie
Deutsche Universität und Forschungseinrichtung in Karlsruhe, entstanden aus Fusion von Universität und Großforschungszentrum, mit Lehre und Forschung in Natur-, Ingenieur- und Technikwissenschaften.
813 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Gärtner, Stephan
Karlsruhe, Deutschland
55
Patente gesamt
18
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Rückert, Friedrich
NoneKarlsruhe
-
Rückert, Friedrich, Dr
NoneKarlsruhe