Verfahren zum Polieren der Oberfläche eines Substrats

EP1446263 Art B1 24. Dezember 2008

Anmelder: RENSSELAER POLYTECHNIC INSTITUTE 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1446263
Aktenzeichen: EP02803675
Anmeldetag: 20. November 2002
Veröffentlichung: 24. Dezember 2008
Erteilung: 24. Dezember 2008
Rechtsraum: EP
IPC: B24B1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: RENSSELAER POLYTECHNIC INSTITUTE
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Rensselaer Polytechnic Institute

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Fachgebiete

Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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