Verfahren und Vorrichtung zur Wandfilmüberwachung

EP1446633 Art A1 18. August 2004

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED, Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1446633
Aktenzeichen: EP02802120
Anmeldetag: 24. Oktober 2002
Veröffentlichung: 18. August 2004
Rechtsraum: EP
IPC: G01B9/02H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: TOKYO ELECTRON LIMITED
Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von