Abbildungssystem mit einem Punktgitterarray

EP1446657 Art A2 18. August 2004

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1446657
Aktenzeichen
EP02789470
Anmeldetag
7. November 2002
Veröffentlichung
18. August 2004
Rechtsraum
EP
IPC
G01N21/95G01N21/956
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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