Inteferometersystem für ein Halbleiterbelichtungssystem
EP1446698
Art A1
18. August 2004
Anmelder: NIKON CORPORATION, Nikon Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1446698
- Aktenzeichen
- EP02752756
- Anmeldetag
- 7. August 2002
- Veröffentlichung
- 18. August 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03B27/42G03B27/52G03B27/54G03B27/32G03F9/00G03F5/00G01B11/02G01B11/00G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- NIKON CORPORATION
Nikon Corporation - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
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Kühn, Armin
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