Vorrichtung und Verfahren zur Verbesserung der Ätzrate-Gleichförmigkeit
EP1446825
Art B1
31. Oktober 2012
Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1446825
- Aktenzeichen
- EP02780667
- Anmeldetag
- 13. November 2002
- Veröffentlichung
- 31. Oktober 2012
- Erteilung
- 31. Oktober 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/67H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- LAM RESEARCH CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.727 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Kontrus, Gerhard
Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
Fachgebiete
3
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Falk, Urs
NoneSteinhausen