Vorrichtung und Verfahren zur Verbesserung der Ätzrate-Gleichförmigkeit

EP1446825 Art B1 31. Oktober 2012

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1446825
Aktenzeichen
EP02780667
Anmeldetag
13. November 2002
Veröffentlichung
31. Oktober 2012
Erteilung
31. Oktober 2012
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/67H01J37/32
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
LAM RESEARCH CORPORATION
Land
🇺🇸 USA

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Vertreten von
Kontrus, Gerhard Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik Elektronik & Schaltungstechnik Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Optik & Fototechnik
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