Vorrichtung und Methode zur Reduzierung von Reaktionskräften auf einer Trägerplattform unter Verwendung einer Ausgleichsmasse

EP1447838 Art A3 18. Oktober 2006

Anmelder: ASML Holding N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1447838
Aktenzeichen: EP04002962
Anmeldetag: 10. Februar 2004
Veröffentlichung: 18. Oktober 2006
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/00H02N15/00G03F9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Holding N.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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