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EP1448928 Art B1 28. Dezember 2005

Anmelder: Entegris, Inc., Mykrolis Corporation, Niermeyer, Karl J., Laverdiere, Marc, Stankowski, Ralph J., Smith, Joseph E. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1448928
Aktenzeichen
EP02759668
Anmeldetag
13. September 2002
Veröffentlichung
28. Dezember 2005
Erteilung
28. Dezember 2005
Rechtsraum
EP
IPC
B01D35/30
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Entegris, Inc.
Mykrolis Corporation
Niermeyer, Karl J.
Laverdiere, Marc
Stankowski, Ralph J.
Smith, Joseph E.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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