Bilderzeugungsapparat

EP1449032 Art B1 31. Dezember 2008

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1449032
Aktenzeichen
EP02790447
Anmeldetag
27. November 2002
Veröffentlichung
31. Dezember 2008
Erteilung
31. Dezember 2008
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Netherlands B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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