Verfahren zur Herstellung einer Schicht auf einem Substrat

EP1449244 Art A2 25. August 2004

Anmelder: Forschungszentrum Jülich GmbH, FORSCHUNGSZENTRUM JÜLICH GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1449244
Aktenzeichen: EP02787365
Anmeldetag: 16. November 2002
Veröffentlichung: 25. August 2004
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/321H01L21/768

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Forschungszentrum Jülich GmbH
FORSCHUNGSZENTRUM JÜLICH GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Forschungszentrum Jülich

Deutsche Großforschungseinrichtung der Helmholtz-Gemeinschaft mit Sitz in Jülich, gegründet 1956. Forschungsschwerpunkte sind Energie, Information und Gehirnforschung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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