Zeitsteuerung für ein Zweikammer-Gasentladungslasersystem

EP1449284 Art B1 16. September 2009

Anmelder: Cymer, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1449284
Aktenzeichen: EP02789265
Anmeldetag: 23. Oktober 2002
Veröffentlichung: 16. September 2009
Erteilung: 16. September 2009
Rechtsraum: EP
IPC: H01S3/225H01S3/041H01S3/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Cymer, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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