Substrat für die EUV-Mikrolithographie und Herstellverfahren hierfür
EP1450182
Art A3
14. Dezember 2005
Anmelder: Schott AG, SCHOTT AG, Schott Glas, CARL-ZEISS-STIFTUNG trading as Schott Glas 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1450182
- Aktenzeichen
- EP03028774
- Anmeldetag
- 13. Dezember 2003
- Veröffentlichung
- 14. Dezember 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/14G02B5/08
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Schott AG
SCHOTT AG
Schott Glas
CARL-ZEISS-STIFTUNG trading as Schott Glas - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
SCHOTT
Deutsches Technologieunternehmen mit Sitz in Mainz, spezialisiert auf Spezialglas und Glaskeramik für Pharma-, Optik-, Elektronik- und Haushaltsanwendungen.
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Fachgebiete
Vertreten von
Gahlert, Stefan
Stuttgart, Deutschland
210
Patente gesamt
29
Fachgebiete
10
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-
Gahlert, Stefan, Dr.-Ing
NoneStuttgart