Maske und Ihr Herstellungs- und Belichtungsverfahren, Herstellungsprozess für Halbleiterbauteile

EP1450206 Art B1 20. April 2016

Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1450206
Aktenzeichen
EP04003772
Anmeldetag
19. Februar 2004
Veröffentlichung
20. April 2016
Erteilung
20. April 2016
Rechtsraum
EP
IPC
G03F1/36
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
CANON KABUSHIKI KAISHA
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

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