Zyklische Abscheidung eines Refraktärmetall-Siliziumnitrids

EP1451385 Art A1 1. September 2004

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1451385
Aktenzeichen: EP02791370
Anmeldetag: 3. Dezember 2002
Veröffentlichung: 1. September 2004
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/34C23C16/455

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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