Strukturen und Verfahren zur Verringerung der Aberration in Optischen Systemen

EP1451619 Art A2 1. September 2004

Anmelder: ASML Netherlands B.V., Optical Research Associates 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1451619
Aktenzeichen
EP02795578
Anmeldetag
30. Oktober 2002
Veröffentlichung
1. September 2004
Rechtsraum
EP
IPC
G02B13/24G02B27/00G02B5/00G03F7/20G02B5/30
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
ASML Netherlands B.V.
Optical Research Associates
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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