Gaszufuhrverfahren und -System
EP1452221
Art A1
1. September 2004
Anmelder: Taiyo Nippon Sanso Corporation, Ohmi, Tadahiro, Nippon Sanso Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1452221
- Aktenzeichen
- EP02788714
- Anmeldetag
- 4. Dezember 2002
- Veröffentlichung
- 1. September 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B01D53/68B01D53/46C01B23/00H01L21/31B01D53/34
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Taiyo Nippon Sanso Corporation
Ohmi, Tadahiro
Nippon Sanso Corporation - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Taiyo Nippon Sanso
Taiyo Nippon Sanso ist ein japanischer Hersteller von Industriegasen und zugehörigen Anlagen, Teil der Mitsubishi-Chemical-Gruppe. Der Patentbestand konzentriert sich auf Verfahrens- und Trenntechnik sowie Wärme-, Fertigungs- und Werkstofftechnik.
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Vertreten von
Smyth, Gyles Darren
London, Großbritannien
281
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