Verfahren zur Herstellung einer Siliciumcarbid-Sinterspannvorrichtung zur Verwendung bei der Halbleiterfertigung

EP1452508 Art B1 1. März 2017

Anmelder: Bridgestone Corporation, BRIDGESTONE CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1452508
Aktenzeichen
EP02775433
Anmeldetag
30. Oktober 2002
Veröffentlichung
1. März 2017
Erteilung
1. März 2017
Rechtsraum
EP
IPC
C04B35/56C04B41/80H01L21/02H01L21/265H05B3/14
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
Bridgestone Corporation
BRIDGESTONE CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan

Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Vertreten von
Oxley, Robin John George London, Großbritannien
3.587
Patente gesamt
34
Fachgebiete
29
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Fahrzeugtechnik (Automobil, Bahn & Schiff) Kunststoff- & Polymertechnik Maschinenelemente & Fluidtechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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