Verfahren zur Herstellung vom Dünnen Metalloxidfilm
Anmelder: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, The University of Tokyo, TOTO Ltd., TOUDAI TLO, LTD., Advanced Systems of Technology Incubation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1452619
- Aktenzeichen
- EP02768137
- Anmeldetag
- 30. September 2002
- Veröffentlichung
- 14. September 2011
- Erteilung
- 14. September 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C8/36C23C14/08C23C14/58C23C18/14H01L21/316C01B13/28H01L21/52
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
The University of Tokyo
TOTO Ltd.
TOUDAI TLO, LTD.
Advanced Systems of Technology Incubation - Land
- 🇯🇵 Japan
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