Mischer und Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung von Dünnfilm

EP1452626 Art B9 18. Januar 2012

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1452626
Aktenzeichen: EP02791960
Anmeldetag: 3. Dezember 2002
Veröffentlichung: 18. Januar 2012
Erteilung: 18. Januar 2012
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/455H01L21/31B01J3/00B01J3/02B01F3/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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