Verfahren und Gerät zur Messung der Form eines Lochs
EP1452829
Art B1
2. Dezember 2009
Anmelder: TOKYO SEIMITSU CO., LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1452829
- Aktenzeichen
- EP01274908
- Anmeldetag
- 5. Dezember 2001
- Veröffentlichung
- 2. Dezember 2009
- Erteilung
- 2. Dezember 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01B13/10
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- TOKYO SEIMITSU CO., LTD.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Seimitsu
Tokyo Seimitsu ist ein japanischer Hersteller von Mess- und Fertigungsgeräten für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiterbauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Titel betreffen vor allem Bearbeitungsverfahren und -vorrichtungen für die Wafer- und Chipherstellung.
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Vertreten von
Hering, Hartmut
München, Deutschland
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