Positive Resistzusammensetzung und Verfahren zur Resiststrukturierung
EP1452919
Art B1
27. März 2013
Anmelder: TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1452919
- Aktenzeichen
- EP02788697
- Anmeldetag
- 29. November 2002
- Veröffentlichung
- 27. März 2013
- Erteilung
- 27. März 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/039H01L21/027
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Ohka Kogyo
Tokyo Ohka Kogyo (TOK) ist ein japanischer Chemiekonzern, der vor allem Fotolacke und Materialien für die Halbleiterfertigung herstellt. Das Portfolio konzentriert sich entsprechend auf Optik und Fototechnik sowie Halbleiter- und Bauelemente-Technik, ergänzt durch Kunststoff- und organische Chemie. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.
927 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Ahner, Philippe
Paris La Défense, Frankreich
884
Patente gesamt
33
Fachgebiete
16
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Poulin, Gérard
NoneParis