Verfahren zur Herstellung eines Artikels, dabei hergestellter Artikel, Computerprogramm zur Durchführung des Verfahrens und Robotiksystem
EP1452920
Art A3
21. Juni 2006
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1452920
- Aktenzeichen
- EP04075556
- Anmeldetag
- 20. Februar 2004
- Veröffentlichung
- 21. Juni 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Maas, Abraham Johannes
Veldhoven, Niederlande
118
Patente gesamt
10
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Van den Hooven, Jan
NoneVeldhoven
-
Prins, Adrianus Willem, Mr. Ir
NoneDen Haag