Verwendung eines Beschichtungsmittels zur Herstellung einer Beschichtung zur Verschmälerung eines Musters und Verfahren zur Bildung eines feinen Musters mit diesem Mittel

EP1452923 Art B1 17. Juli 2013

Anmelder: TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1452923
Aktenzeichen: EP02775500
Anmeldetag: 5. November 2002
Veröffentlichung: 17. Juli 2013
Erteilung: 17. Juli 2013
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/40H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Ohka Kogyo

Tokyo Ohka Kogyo (TOK) ist ein japanischer Chemiekonzern, der vor allem Fotolacke und Materialien für die Halbleiterfertigung herstellt. Das Portfolio konzentriert sich entsprechend auf Optik und Fototechnik sowie Halbleiter- und Bauelemente-Technik, ergänzt durch Kunststoff- und organische Chemie. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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