Aussenrohr aus Siliziumcarbid und Wärmebehandlungssystem für Halbleiter

EP1453079 Art A3 21. Dezember 2005

Anmelder: Asahi Glass Company, Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1453079
Aktenzeichen
EP04004234
Anmeldetag
25. Februar 2004
Veröffentlichung
21. Dezember 2005
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/00C23C16/44
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Asahi Glass Company, Limited
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 AGC (Asahi Glass)

Japanischer Glas- und Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, früher als Asahi Glass Company firmierend. AGC entwickelt Flachglas, elektronische Materialien, Spezialchemikalien sowie Glasprodukte für Automobil-, Bau- und Elektronikindustrie.

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