Prozess und Zusammensetzung für Rückstandentfernung von der Mikrostruktur eines Objekts

EP1453080 Art B1 5. Juli 2006

Anmelder: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC., KABUSHIKI KAISHA KOBE SEIKO SHO 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1453080
Aktenzeichen
EP04010688
Anmeldetag
22. Mai 2003
Veröffentlichung
5. Juli 2006
Erteilung
5. Juli 2006
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/00B08B7/00G03F7/42C11D11/00C11D7/32
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
KABUSHIKI KAISHA KOBE SEIKO SHO
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

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🇯🇵 Kobe Steel

Japanischer Stahl- und Maschinenbaukonzern mit Sitz in Kobe, tätig in den Bereichen Stahl, Aluminium, Maschinenbau und Schweißtechnik.

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