Gas für eine Plasmareaktion, Prozess zur Herstellung des Gases und Verwendung

EP1453082 Art A1 1. September 2004

Anmelder: Zeon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1453082
Aktenzeichen
EP02775447
Anmeldetag
31. Oktober 2002
Veröffentlichung
1. September 2004
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/3065H01L21/311
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Zeon Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Zeon

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Zeon Corporation entwickelt synthetische Kautschuke, Spezialchemikalien und Elastomere für Anwendungen in Automobil-, Elektronik- und Batterieindustrie.

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