Vorrichtung und Verfahren zur Reinigung von Glassubstraten unter Verwendung einer Kalten Wasserstoffflamme
EP1453618
Art A1
8. September 2004
Anmelder: Agency for Science, Technology and Research 🇸🇬
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1453618
- Aktenzeichen
- EP02789131
- Anmeldetag
- 20. November 2002
- Veröffentlichung
- 8. September 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B08B7/00C03C23/00C03B32/00G02F1/1333H01L21/304
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Agency for Science, Technology and Research
- Land
- 🇸🇬 Singapur
🇸🇬
Agency for Science, Technology and Research
Staatliche Forschungsorganisation Singapurs (bekannt als A*STAR), zuständig für angewandte Forschung in Biomedizin, Physik und Ingenieurwissenschaften. Fördert Technologietransfer zwischen Wissenschaft und Industrie.
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Vertreten von
Repkow, Ines, Dr. Dipl.-Ing
Augsburg, Deutschland
145
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23
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9
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